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2023-12-29 16:51
admin通过fib制备样品时，有些待测试膜层由于沉积工艺、材料特性等会在被减薄后由于内应力而发生形变，无法准确进行准确的测量。
需要对目标材料层进行ebsd测试时，通过fib制备的目标材料层的样品，会产生形变，严重影响晶面的布拉格衍射以及菊池花样的产生，进而影响测试结果的准确性。
进一步的，对于ebsd测试，需要样品的有效面积较大，例如大于9um2，而采用现有的fib制备技术，样品的有效面积越大，越容易发生形变，因此很难获得满足要求的ebsd测试样品。
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